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薄膜應(yīng)力測(cè)試

儀器簡(jiǎn)介：
薄膜應(yīng)力儀，系統(tǒng)采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對(duì)薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行精確的測(cè)量，而且還可二維應(yīng)力Mapping成像統(tǒng)計(jì)分析；同時(shí)可精確測(cè)量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系；
技術(shù)參數(shù)：
1.XY雙向程序控制掃描平臺(tái)掃描范圍：300mm；2m (XY)（可選）；
2.掃描速度：20mm/s（x,y）；
3. XY雙向掃描平臺(tái)掃描*小步進(jìn)/分辨率：1 μm；
4.平均曲率分辨率：2×10-5 1/m (1-sigma)；
5.中心曲率測(cè)量范圍：Minimum Concave: 2.0m，Minimum Convex: -2.0m;
Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km;
6.應(yīng)力測(cè)量精度：1% 或0.32MPa;
7.中心應(yīng)力測(cè)量范圍：Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa；
Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.應(yīng)力測(cè)量分辨：0.32MPa;
9.平均應(yīng)力重復(fù)性：0.02MPa；
10.Bow測(cè)量高度：0.67mm；
11.Bow測(cè)量分辨率：30nm；

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