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MEMS加工

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  • 光刻
    光刻
    接觸式光刻
    步進式光刻
    電子束光刻
    雙面對準光刻
    勻膠/顯影
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  • 鍍膜
    鍍膜
    低壓化學氣相沉積
    等離子增強化學氣相沉積
    感應耦合化學氣相沉積
    原子層沉積
    光學鍍膜
    濺射沉積
    電子束蒸發(fā)
    熱蒸發(fā)
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  • 刻蝕
    刻蝕
    堿性腐蝕
    酸性腐蝕
    光刻膠剝離
    電感耦合等離子刻蝕
    深硅刻蝕DRIE
    深氧化硅刻蝕
    離子束刻蝕
    反應離子刻蝕
    灰化
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  • 外延生長·摻雜
    外延生長·摻雜
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    化學氣相沉積
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    高溫擴散/退火
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  • 切割·減薄
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    微電鍍
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    器件封裝
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